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質量氣體流量計

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MF4000 微小量程-質量式氣體流量計 / 質量流量計 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter)

MF4000 質量式氣體流量計/ 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計

MF4000 MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MF4000 專為各類小流量氣體測量和過程控制設計，適用于各類清潔、干燥氣體。量程比達100:1，
配備多種輸出信號及通訊接口、LED顯示瞬時&累積流量，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計，接續(xù)管徑3mm、8mm

【測量類型】
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣...等

【應用環(huán)境】
工業(yè)制造業(yè)的用氣測量及程控、
醫(yī)療設備 (如：醫(yī)療麻醉與呼吸設備、醫(yī)院供氧/制氧設備、分床計費系統(tǒng))

環(huán)保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業(yè)技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統(tǒng)的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠

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質量式氣體流量計/質量流量計技術參數

型號	MF4003	MF4008
口徑	3mm	8mm
最大流量(SLPM)	2,3,4,5	10,20,30,40,50
量程比	100:1
精確值	±(1.5+0.2FS)%
重復性	0.25%
零點飄移	±30mV
輸出飄移	±0.12% / ℃
響應時間	10ms(可調)
電源	8~24VDC,50mA
輸出信號	RS232、RS485、0.5~4.5VDC
最大工作壓力	0.5MPa
機械接口	BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接頭
工作溫度	-10?55℃
儲存溫度	-20?65℃
工作濕度	<95%RH(無結冰、無結露)
應用環(huán)境	粒子計數器、各類分析儀器	麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

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